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真空熱壓燒結(jié)爐依使用溫度的不同可分為以下幾類。由于使用溫度的不同,加熱室中所采用的加熱方式及保溫方式千差萬別。溫度在800℃以下的爐子,加熱器常采用鐵鉻鋁、鎳鉻絲等作為加熱元件,保溫材料常采用高溫硅酸鋁保溫氈。溫度在1000℃-1600℃常采用金屬鉬、硅鉬棒、硅碳棒等作為加熱元件,保溫材料常用復(fù)合碳?xì)帧⒛獊硎瘹值?。溫度?600℃--2200℃常用石墨管作為加熱元件,或采用感應(yīng)加熱方式,保溫材料常用石墨氈等。
真空熱壓燒結(jié)爐的爐殼由爐體和爐門構(gòu)成,為雙層冷卻水套式結(jié)構(gòu)。設(shè)備爐殼是按蕞大承受壓力范圍為-0.1~0.05MPa設(shè)計(jì)。 爐殼為臥式,側(cè)開平移門,爐殼上有真空系統(tǒng)接口,測溫接口,水冷電極接口、充放氣接口及視孔接口等,均按高真空靜密封標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì);爐體上的上下壓頭裝臵(上下各一套)、熱電偶裝臵及擋板機(jī)構(gòu)均為高真空動(dòng)密封結(jié)構(gòu),爐門和爐殼均采用焊接結(jié)構(gòu)。對(duì)于尺寸較小的熱壓爐,爐門與爐體采用鉸鏈連接方式,由于石墨壓頭、爐料及石墨爐具相對(duì)較輕,常采取側(cè)開爐門與加熱室內(nèi)的保溫側(cè)開門聯(lián)為一體,便于加熱元件、壓頭、模具等的安裝及進(jìn)、出料。對(duì)于尺寸較大的熱壓爐,由于石墨壓頭、料及石墨模具較重,則設(shè)計(jì)成可移動(dòng)式水冷電纜,將爐門與加熱室聯(lián)成一體,通過內(nèi)、外巧妙設(shè)計(jì)的軌道,可將加熱室移出爐外特定位臵,實(shí)現(xiàn)外加料及外出模并便于加熱室的維護(hù)(如更換加熱器)等。
真空熱壓燒結(jié)爐的系統(tǒng)通常由擴(kuò)散泵與機(jī)械泵組成高真空擴(kuò)散泵機(jī)組。閥門為專用真空擋板閥,擴(kuò)散泵上設(shè)有冷阱,以防止擴(kuò)散泵返油。配有羅茨真空泵的系統(tǒng),具有粗抽旁通管路,用以提高抽氣速率,真空度測量采用復(fù)合式數(shù)顯真空計(jì)。前級(jí)機(jī)械泵具有停泵自動(dòng)放氣功能。
根據(jù)真空熱壓燒結(jié)爐各部分對(duì)冷卻水的要求,制作集水排、由閥門、管路等組成;對(duì)爐體、爐蓋、真空系統(tǒng)及水冷電極進(jìn)行冷卻。其中總進(jìn)水管路安裝水壓傳感器。
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